V tomto procesu prochází elektrický oblouk o průměru jen několika mikrometrů pevným kovovým materiálem vrstvy a odpařuje ho. Vzhledem k vysokým použitým proudům a hustotám
energie se odpařený materiál z velké části ionizuje a tvoří vysoce energetickou plazmu.
Kovové ionty se spojují se současně přiváděným reaktivním plynem a s vysokou energií se setkávají s nástroji případně součástkami, které se
povlakují. Tam se sráží jako tenká a pevně ulpívající vrstva.
1 Argon
2 Reakční plyn
3 Zdroje oblouku (nanášený materiál a nosná deska)
4 Nástroje
5 Vakuové čerpadlo
|
