Bei diesem Verfahren läuft ein Lichtbogen mit einem Durchmesser von nur wenigen Mikrometern über das feste, metallische Schichtmaterial und bringt es zum Verdampfen. Wegen der dabei eingesetzten hohen Ströme und Leistungsdichten wird das verdampfte Material zu einem Großteil ionisiert und bildet ein hochenergetisches Plasma.
Die Metallionen verbinden sich mit dem gleichzeitig zugeführten Reaktivgas und treffen mit hoher Energie auf die zu beschichtenden Werkzeuge bzw. Bauteile auf. Dort schlagen sie sich als dünne, fest haftende Schicht nieder.
1 Argon
2 Reaktionsgas
3 Arc-Quellen (Beschichtungsmaterial und Trägerplatte)
4 Werkstücke
5 Vakuumpumpe
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