W tym procesie łuk elektryczny o średnicy zaledwie kilku mikrometrów występuje na stałym, metalowym materiale powłoki, powodując parowanie materiału. Ze względu na stosowane duże prądy i gęstości mocy wyparowany materiał jest prawie całkowicie zjonizowany i tworzy plazmę o wysokiej energii.
Jony metalu łączą się z gazem reagującym, który wprowadzony jest do komory i z dużą energią uderzają w narzędzia lub elementy, na które nakłada się powłokę. Następuje osadzenie cienkiej powłoki o dużej przyczepności.
1 Argon 2 Gaz reagujący 3 Źródła łukowe (materiał powłoki)
4 Narzędzia, elementy powlekane 5 System pomp próżniowych